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486章 温柔乡!(3/3)

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采用了沉浸式光刻技巧,大大地缩短了光源的波长,光刻机支撑的极限制程工艺可以达到65纳米。

也就是假如瑞星科技公司在控制氟化氩光源后,极限制程工艺可以达到22纳米!

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